[发明专利]一种台面晶闸管及其制备方法在审
| 申请号： | 201510331041.3 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN104900692A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 何春海 | 申请（专利权）人： | 江苏东晨电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/74 | 分类号： | H01L29/74;H01L29/06;H01L21/332 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214205 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种台面晶闸管及其制备方法，台面晶闸管包括芯片、台面槽、基区以及表面氧化层，所述基区形成在芯片上，在基区上形成有阳极、阴极和门极，所述表面氧化层上形成有引线孔，所述引线孔分别对准所述的阴极和门极并填充有铝电极，台面槽的槽深低于基区的结深，且所述台面槽与基区形成的夹角近直角。通过本发明的技术方案，由于本发明的台面槽与基区近视直角相交，这样在台面腐蚀时，仅需要腐蚀较浅的槽深，便能达到产品所需要的击穿电压，由于台面槽很浅，台面腐蚀时，横向腐蚀也必然很少，这样多余的部分用来制作阴极，阴极面积得以提高，从而有效的提高了晶闸管的通态电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 台面 晶闸管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种台面晶闸管，包括芯片、台面槽(1)、基区(2)以及表面氧化层(5)，所述基区(2)形成在芯片上，在基区(2)上形成有阳极(7)、阴极(4)和门极(6)，所述表面氧化层(5)上形成有引线孔，所述引线孔分别对准所述的阴极(4)和门极(6)并填充有铝电极，其特征在于：台面槽(1)的槽深低于基区(2)的结深，且所述台面槽(1)与基区(2)形成的夹角近直角。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏东晨电子科技有限公司，未经江苏东晨电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510331041.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
