[发明专利]等离子体桥式中和一体化的直流离子束光学抛光装置有效
| 申请号： | 201510344966.1 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN105150048B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 解旭辉;戴一帆;周林;鹿迎;李圣怡;徐明进 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人： | 赵洪,钟声 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源和等离子体中和器，所述抛光装置还包括固定安装于离子源上的盘状盖板，等离子体中和器安装在盘状盖板内端面上，等离子体中和器的喷口正对离子源的离子束的轴线。本发明具有耦合充分、可获得具有高度稳定性的小束径离子束的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 中和 一体化 直流 离子束 光学 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源（1）和等离子体中和器（2），其特征在于：所述抛光装置还包括固定安装于离子源（1）上的盘状盖板（3），所述等离子体中和器（2）安装在盘状盖板（3）内端面上，所述等离子体中和器（2）的喷口（20）正对离子源（1）的离子束的轴线，所述等离子体中和器（2）包括电子发生器（21）和保持器（22），所述喷口（20）位于保持器（22）上，电子发生器（21）的一端设有喷嘴（211），所述喷嘴（211）与喷口（20）同轴布置，所述盘状盖板（3）内端面设有与盘状盖板（3）同轴的C形凸台（31），所述保持器（22）设于所述C形凸台（31）的开口处，且位于喷嘴（211）的前方。
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