[发明专利]一种铍窗封接的方法

摘要

本发明公开了一种铍窗封接的方法，将铍片浸泡在质量比为9-11:1的硫酸和过氧化氢混合液中，混合液温度控制在50-55℃；反应时间在13-17s；浸泡好的铍片用去离子水冲洗8-12min，然后在75-85℃的烘箱烘干并存储于真空柜中备用；选用铜作为输出窗的基金属，封接时的升温速率为3℃/min，保温温度730℃，时间60min，再升温至800℃,保温时间8min，在此温度下，铍片、铜和焊料的相互溶蚀，在封接面形成铍片、铜、焊料的金属化合物，从而形成了牢固气密的钎焊面。本发明保证了铍窗的封接可靠性，使得铍窗在射线管中得以大量的应用。使得封接好的输出窗钎焊性能牢固可靠。输出窗在800℃可承受反复热冲击，输出窗的漏率优于10^-9pa.m³/s。

主权项

 一种铍窗封接的方法，其特征在于，由如下步骤组成：1）将铍片浸泡在质量比为9‑11:1的硫酸和过氧化氢混合液中，混合液温度控制在50‑55℃；反应时间在13‑17s；2）浸泡好的铍片用去离子水冲洗8‑12min，然后在75‑85℃的烘箱烘干并存储于真空柜中备用；3）选用铜作为输出窗的基金属，封接时的升温速率为3℃/min，保温温度730℃，时间60min，再升温至温度800℃,保温时间8min，在此温度下，铍片、铜和焊料的相互溶蚀，在封接面形成铍片、铜、焊料的金属化合物，从而形成了牢固气密的钎焊面。