[发明专利]一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备及利用其制备零件的方法在审
| 申请号： | 201510356563.9 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104900469A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;付兴铭;刘亦杰;郑怀;张生志;张泽峰;甘志银;吴昕;沈沁宇 | 申请（专利权）人： | 武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/304 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备包括真空室和控制与显示系统；所述真空室中设有可三维移动的工作台、进料和铺料装置、快速成型装置和实时监控装置；所述可三维移动的工作台中设有冷却液流通管道；所述快速成型装置为电子束设备；所述真空室、可三维移动的工作台、进料和铺料装置、快速成型装置和实时监控装置均与真空室外的控制与显示系统相连。利用该设备制备零件的方法为：（1）在工作平台上传送并铺设原材料，预热；（2）选择性扫描烧结，实时监控产品的微观结构；（3）依次反复重复步骤（1）和（2）。其优点为：该设备兼顾了加工精度和加工成本；该方法实现了复杂零件的快速成型和微观结构的精细加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电子束 离子束 复合 技术 实时 监控 快速 成型 制造 设备 利用 制备 零件 方法 | ||
【主权项】：
一种基于电子束与离子束复合技术的实时监控快速成型制造的设备，其特征在于包括真空室（100）和控制与显示系统（130）；所述真空室（100）中设有可三维移动的工作台（101）、进料和铺料装置（108）、快速成型装置（120）和实时监控装置(110)；所述可三维移动的工作台(101)中设有冷却液流通管道(109)；所述快速成型装置(120)为电子束设备(107)；所述真空室(100)、可三维移动的工作台(101)、进料和铺料装置(108)、快速成型装置(120)和实时监控装置(110)均与真空室(100)外的控制与显示系统(130)相连。
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