[发明专利]一种氟化石墨烯的制备方法在审
| 申请号： | 201510361699.9 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104986750A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;陆薇;阿亚兹;孟楠;万霞;程呈;郭宏伟;周翰铭;王雪;施添锦;王锋;马玲玲;刘雪梅;李炜;刘威 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B31/00 | 分类号： | C01B31/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氟化石墨烯的制备方法，主要采用深反应刻蚀的方法，以SF6气体作为氟化剂制得氟化石墨烯。所制得的氟化石墨烯为单层或多层。本发明方法制备的氟化石墨烯氟化程度高，氟化性质好，该方法可用于大尺寸氟化石墨烯的制备，当采用的石墨烯样品其衬底为铜网时，还可实现石墨烯的双面氟化。与其他的氟化方法比较，本发明的方法具有设备和工艺过程简便，可控性好，制备成本低，可用于量产等优点。制得的氟化石墨烯尺寸可以达到晶圆级，这为氟化石墨烯的性质探究以及氟化石墨烯器件的加工都奠定了良好的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氟化石墨烯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）将石墨烯样品放入深反应刻蚀机的送样室内，将送样室气压抽至10‑3Torr以下，将石墨烯样品送入反应腔；2）将反应腔内气压抽至10‑6Torr以下，通入SF6气体，流量为100sccm；3） 对SF6进行等离子体激发，在电离功率为25W~300W条件下反应30s~20min；取出样品，获得氟化石墨烯。
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