[发明专利]一种探针卡有效
申请号: | 201510367325.8 | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN104991097B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 郑鹏飞;李强 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种探针卡,通过将第一面,即连至测试设备的正面上的两个连至不同第二面探针尖端的接触点组成接触点对,并通过信号线和开关件连接这两个接触点,改变了传统探针卡电源通道和芯片焊垫之间的一对一的对应方式,通过开关件可以切换至测试不同探针尖端对应芯片焊垫的独立的两条测试线路或切换至不同探针尖端对应芯片焊垫并联的测试线路,使用一张探针卡就可以同时实现多个芯片上功能模块单独功耗、模块总功耗的测试。本发明节省了测试用探针卡,也提升了测试效率。 | ||
搜索关键词: | 探针卡 探针尖端 芯片焊垫 接触点 测试线路 开关件 测试 测试设备 测试效率 传统探针 电源通道 第二面 信号线 总功耗 并联 一对一 功耗 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种探针卡,其特征在于:其包括第一面以及第二面,所述第一面设有数个用于连至测试设备的接触点,所述第二面设有数个用于连至待测芯片焊垫的探针尖端,所述第二面还设有数个通过信号线分别与所述数个探针尖端相连的接触点,所述第一面的接触点通过探针卡的内部信号线分别连至第二面的接触点,以使得第一面的接触点分别与第二面的探针尖端相连,其中,所述第一面的接触点具有至少一组由两个连至不同探针尖端的接触点组成的接触点对,所述接触点对的两个接触点通过信号线和开关件相连,以切换测试所述不同探针尖端的独立的两条测试线路以及所述不同探针尖端并联的测试线路,所述接触点对的两个接触点分别用于连至待测芯片的两个待测模块的焊垫,且该两个待测模块焊垫的电源通道的电压相同。
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