[发明专利]PAD刻蚀工艺方法在审
| 申请号： | 201510369470.X | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN105161434A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 沈海波 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60;H01L21/311 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种PAD刻蚀工艺方法，该方法在刻蚀时仍采用光刻胶做掩膜，但在刻蚀气体中加入O2，用于去除刻蚀过程中残留在PAD表面的聚合物。本发明通过在以CF4为主的刻蚀气体中增加适量的O2，去除刻蚀过程中残留在PAD表面的聚合物，增加了腐蚀窗口，有效避免了PAD表面发生铝腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | pad 刻蚀 工艺 方法 | ||
【主权项】：
PAD刻蚀工艺方法，刻蚀时采用光刻胶做掩膜，其特征在于：在刻蚀气体中加入O2，用于去除刻蚀过程中残留在PAD表面的聚合物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
