[发明专利]一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法

摘要

本发明涉及一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置及其方法，装置包括偏振分束器，偏振分束器正下方的固定的聚光标准镜、激光扩束镜、激光光源，偏振分束器和检测激光光源之间设置的起偏器、偏振分束器正右方的次第固定有第一1/4波片及待测镜片、偏振分束器正左方的定位固定有接收屏，偏振分束器正左方设置有检偏器、偏振分束器正上方的定位固定有第二1/4波片、光学样板，利用该装置采用偏振干涉的方法，可使两相干光束有近似相等的光强，条纹亮度可以调节，能够抑制杂散光等光学噪声的影响，得到对比度高的干涉条纹，减少后期图像处理的误差，提高镜片检测的精度，使得光能被最大限度的利用，消除背景杂散光，提高干涉条纹的对比度。

主权项

一种会聚光路偏振干涉面型偏差检测装置，其特征在于，包括偏振分束器，所述偏振分束器正下方的定位固定有聚光标准镜、所述聚光标准镜正下方的定位固定有激光扩束镜、激光扩束镜正下方的定位固定有激光光源，偏振分束器和检测激光光源之间设置有起偏器、在所述偏振分束器正右方的次第固定有第一1/4波片及待测镜片、偏振分束器正左方的定位固定有接收屏，偏振分束器正左方设置有检偏器、偏振分束器正上方的定位固定有第二1/4波片、第二1/4波片正上方设置有光学样板，所述激光扩束镜的中心轴线与光学样板的的光轴相交于偏振分束器的胶合面中心，接收屏垂直于光学样板的光轴；所述偏振分束器由两块等边直角棱镜的斜面胶合而成，其中一块等边直角棱镜的胶合面镀有偏振分光介质膜。