[发明专利]一种键合头装置

摘要

本发明提供了一种键合头装置，该装置包括装置本体，用于与外界驱动相连的直线滑块，用于连接装置本体、直线滑块的固定支架；装置本体包括气缸结构、接受外界驱动控制的伺服电机、传动结构、花键轴结构以及用于吸附芯片的真空吸杆；花键轴结构包括套筒、滚珠以及与套筒相配合的花键轴；伺服电机的输出端与传动结构的主动轮连接；传动结构的从动轮与花键轴连接；气缸结构固定在花键轴结构的上方并与花键轴结构相配合形成一封闭结构。本发明减少了键合头装置的Z向尺寸以及安装空间，对各个部件的尺寸优化有重要意义；且本发明采用花键轴结构作为导向系统，可以保证真空吸杆高精度的直线运动，从而可以提高对芯片操作时的精度。

主权项

一种键合头装置，其特征在于，包括：装置本体(1)，用于与外界驱动相连的直线滑块(2)，用于连接所述装置本体(1)、直线滑块(2)的固定支架(3)；所述装置本体(1)包括：气缸结构(4)、接受外界驱动控制的伺服电机(5)、传动结构(6)、花键轴结构(7)以及用于吸附芯片(22)的真空吸杆(8)；其中，所述传动结构(6)包括主动轮(12)与从动轮(13)；所述花键轴结构(7)包括：套筒(14)、滚珠(15)以及与所述套筒(14)相配合的花键轴(16)；所述花键轴(16)包括外轴(17)与内轴(18)，所述外轴(17)套设在所述内轴(18)上，所述内轴(18)两端均穿出所述外轴(17)；所述内轴(18)的一端与所述气缸结构(4)固定连接；所述伺服电机(5)的输出端与所述传动结构(6)的主动轮(12)连接；所述传动结构(6)的从动轮(13)与所述花键轴(16)连接；所述内轴(18)的另一端穿出所述从动轮(13)与所述真空吸杆(8)连接；所述气缸结构(4)固定在所述花键轴结构(7)的上方并与所述花键轴结构(7)相配合形成一封闭结构。