[发明专利]一种防撞真空手臂在审
| 申请号： | 201510373607.9 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105140161A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 冯翔;冯俊杰;吕煜坤;朱骏;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种防撞真空手臂，包括：末端执行器，直接与晶圆接触，并在末端执行器之端部设置与主控系统讯号连接的距离传感器；肘板，用于固定末端执行器；控制单元，用于控制防撞真空手臂之运动过程，并根据距离传感器之反馈信息，通过主控系统发出指令，一并由控制单元控制防撞真空手臂之运动过程，避免碰撞障碍物。本发明通过在末端执行器之端部设置距离传感器，并在防撞真空手臂的运动过程中实时监测与障碍物的距离，当距离小于预设安全距离时，距离传感器将信息反馈至主控系统，并通过控制单元指令防撞真空手臂停止运动，进而避免发生碰撞，不仅有效的保护了防撞真空手臂之各元器件，而且减少了因损伤导致的保养维修时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 手臂 | ||
【主权项】：
一种防撞真空手臂，其特征在于，所述防撞真空手臂，包括：末端执行器，直接与晶圆接触，并在所述末端执行器之端部设置与主控系统讯号连接的距离传感器；肘板，用于固定所述末端执行器；控制单元，用于控制所述防撞真空手臂之运动过程，并根据所述距离传感器之反馈信息，通过所述主控系统发出指令，一并由所述控制单元控制所述防撞真空手臂之运动过程，避免碰撞障碍物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
