[发明专利]太阳能电池外延片及其制作方法

摘要

一种太阳能电池外延片及其制作方法，该太阳能电池外延片包括依次设置的衬底、缓冲层、牺牲层和太阳能电池层，其中，牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，第一牺牲层紧贴缓冲层设置，第二牺牲层紧贴第一牺牲层设置，第一牺牲层的被腐蚀速度大于第二牺牲层的被腐蚀速度，在第一牺牲层上分布有多个相互平行的条形凹槽，第二牺牲层上具有多个与条形凹槽紧密配合的条形凸起。解决了腐蚀液以不可预测的方向和不同的速度腐蚀牺牲层的技术问题。可以减少剥离工艺的时间，还可以减少剥离过程中衬底和太阳能电池层的损坏，从而提高太阳能电池产品的品质和产线的良品率。

主权项

一种太阳能电池外延片，包括依次设置的衬底(1)、缓冲层(2)、牺牲层(3)和太阳能电池层(4)，其特征在于，所述牺牲层(3)至少包括第一牺牲层(31)和第二牺牲层(32)，所述第一牺牲层(31)紧贴所述缓冲层(2)设置，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)设置，所述第一牺牲层(31)的被腐蚀速度大于所述第二牺牲层(32)的被腐蚀速度；在所述第一牺牲层(31)上分布有多个相互平行的条形凹槽(311)，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述条形凹槽(311)紧密配合的条形凸起(321)；和/或，在所述第一牺牲层(31)上分布有多个孔(312)，所述孔(312)位于相互平行的多条直线上，位于同一直线上的相邻两个所述孔(312)之间的距离小于0.5毫米，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述孔(312)紧密配合的凸起(322)。