[发明专利]烘烤装置和光刻胶层的硬化方法在审
| 申请号： | 201510377047.4 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104950581A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张从领 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种烘烤装置和光刻胶层的硬化方法。其中该烘烤装置包括：用于放置带有薄膜层和待硬化的光刻胶层的基板的平面；以及与基板相对的用于加热光刻胶层的加热板。加热板的中央部位的温度设置成高于加热板的周边部位的温度。本发明的烘烤装置能够把基板的周边部位的光刻胶的硬化速度调整到基板的中央部位的光刻胶的硬化速度相近似，使得曝光后所形成的图形的各个部位线宽比较均匀，从而可以提高液晶显示器显示时的清晰程度。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 装置 光刻 硬化 方法 | ||
【主权项】：
一种烘烤装置，包括：用于放置带有薄膜层和待硬化的光刻胶层的基板的平面；以及与所述基板相对的用于加热所述光刻胶层的加热板；其中，所述加热板的中央部位的温度设置成高于所述加热板的周边部位的温度。
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