[发明专利]双面钝化太阳能电池的制作方法

摘要

本专利公开了一种双面钝化太阳能电池的制作方法，包括以下步骤A、正面钝化 B、背面钝化和C、金属电极的制作。正面钝化主要包括1）采用PECVD将太阳能电池的正面沉积20~500nm厚度的N型α‑Si薄层；2）采用PECVD在所述N型α‑Si薄层的表面沉积1~10nm厚度的SiOx薄层；3）采用PECVD沉积70~120nm厚度的SiNx薄层；背面钝化主要包括1）采用PECVD沉积20~500nm厚度的P型α‑Si薄层；2）采用原子层沉积法在所述P型α‑Si薄层上沉积10~300nm厚度的Al2O3薄层；3）采用PECVD沉积30~120nm的SiNx薄层；与传统的钝化方法相比，本方案采用PECVD和原子层沉积法形成钝化层，不会破坏晶格结构，钝化效果更好。同时，背电极浆料和正电极浆料均具有良好的导电性能，具有适应更高的方阻的能力。

主权项

一种双面钝化太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：A、正面钝化1）采用PECVD将太阳能电池的正面沉积120nm厚度的N型α‑Si薄层；2）采用PECVD在所述N型α‑Si薄层的表面沉积4nm厚度的SiOx薄层；3）采用PECVD沉积85nm厚度的SiNx薄层；B、背面钝化1）采用PECVD沉积50nm厚度的P型α‑Si薄层；2）采用原子层沉积法在所述P型α‑Si薄层上沉积150nm厚度的Al2O3薄层；3）采用PECVD沉积80nm的SiNx薄层；C、金属电极的制作1）在太阳能电池的背面印刷穿透性背电极浆料，背电极浆料形成栅线图形的图案，然后烘干，所述背电极浆料为银浆或其他浆料；然后印刷背电场浆料，烘干，所述背电场浆料为铝浆；2）在太阳能电池的正面印刷正电极浆料，所述正电极浆料为正银浆料；3）进行烧结处理，烧结后，正电极浆料至少与N型α‑Si薄层接触，背电极浆料至少与P型α‑Si薄层接触。