[发明专利]能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器有效
申请号: | 201510378268.3 | 申请日: | 2015-07-01 |
公开(公告)号: | CN105281184B | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 松田宗和;吉田宏之 | 申请(专利权)人: | 发那科株式会社 |
主分类号: | H01S3/036 | 分类号: | H01S3/036 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 曾贤伟;郝庆芬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器。该气体激光振荡器具备:第一控制阀,其能够控制提供给气体容器的激光气体的量;第二控制阀,其能够控制从气体容器排出的激光气体的量;控制装置,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度。控制装置具备:存储部,其存储表示气体容器内的激光气体的压力、第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据;气体压力控制部,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度,使得气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力;气体消耗量控制部,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度,使得激光气体的排出量接近目标消耗量。 | ||
搜索关键词: | 能够 控制 气体 压力 消耗量 激光 振荡器 | ||
【主权项】:
一种气体激光振荡器,其特征在于,具备:气体容器,其收容激光气体;第一传感器,其检测上述气体容器内的激光气体的压力;气体供给源,其对上述气体容器提供激光气体;真空泵,其从上述气体容器排出激光气体;第一控制阀,其能够通过调节开度来控制提供给上述气体容器的激光气体的量;第二控制阀,其能够通过调节开度来控制从上述气体容器排出的激光气体的量;控制装置,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度;电源,其提供针对上述气体容器内的激光气体的激发能量;以及第二传感器,其检测从上述电源提供的电压或电流,其中,上述控制装置具备:第一存储部,其存储表示上述气体容器内的激光气体的压力、上述第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据;气体压力控制部,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度,使得上述气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力;第二存储部,其存储基准电压或基准电流;比较部,其将通过上述第二传感器检测出的电压或电流与上述基准电压或上述基准电流进行比较;以及气体消耗量控制部,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度,使得激光气体的排出量接近基于上述比较部的比较结果设定的目标消耗量。
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