[发明专利]感光性树脂组合物

摘要

本发明涉及感光性树脂组合物。本发明涉及负型感光性树脂组合物，其包含：包含由特定结构表示的重复单元的第1树脂、包含第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、3官能以上的多官能硫醇化合物(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)，上述第1树脂与上述第2树脂的混合重量比为50：50～90：10，由此在低温固化条件下也能够形成反应性和耐久性优异的图案。

主权项

1.负型感光性树脂组合物，其包含：碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、3官能以上的多官能硫醇化合物(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)，其特征在于，所述碱可溶性树脂(A)含有包含下述化学式1所示的重复单元的第1树脂和包含下述化学式2所示的重复单元的第2树脂，并且上述第1树脂与上述第2树脂的混合重量比为50：50～90：10，[化学式1]式中，R₁、R₂和R₃相互独立地为氢或甲基，R₄为来自从甲基丙烯酸、丙烯酸、琥珀酸2‑丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2‑丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2‑丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2‑甲基丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构，R₅为来自从下述式(1)～(9)中选择的单体的结构，R₆为来自从下述式(10)～(12)中选择的单体的结构，a＝10～30摩尔％、b＝30～60摩尔％、c＝20～50摩尔％，[化学式2]式中，R₇、R₈、R₉和R₁₀相互独立地为氢或甲基，R₁₁为来自从甲基丙烯酸、丙烯酸、琥珀酸2‑丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2‑丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2‑丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2‑甲基丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构，R₁₂为来自从甲基丙烯酸苄酯、苯氧基乙二醇丙烯酸酯、苯氧基二甘醇丙烯酸酯、(2‑苯基)苯氧基乙氧基丙烯酸酯、2‑羟基‑(2‑苯基)苯酚丙基丙烯酸酯、2‑羟基‑(3‑苯基)苯氧基丙基丙烯酸酯、丙烯酸四氢呋喃酯、苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基萘、N‑苄基马来酰亚胺、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲氧基乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基二甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基三甘醇甲基丙烯酸酯、甲氧基四甘醇甲基丙烯酸酯、苯氧基乙二醇甲基丙烯酸酯、苯氧基二甘醇甲基丙烯酸酯和甲基丙烯酸四氢呋喃酯中选择的单体的结构，R₁₃为来自从上述式(1)～(9)中选择的单体的结构，R₁₄为来自从下述式(13)～(19)中选择的单体的结构，d＝10～30摩尔％、e＝10～20摩尔％、f＝30～60摩尔％、g＝10～30摩尔％。