[发明专利]等离子体处理装置以及等离子体处理方法有效
| 申请号： | 201510379033.6 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105225913B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 舟久保隆男;芳贺博文;狐塚慎一;小澤亘;坂本晃浩;谷口直树;辻本宏;大野久美子 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够在步骤切换后使等离子体迅速地稳定从而能够进行适当的等离子体处理的等离子处理装置以及等离子处理方法。控制装置(16)在第一步骤中以第一能量条件来驱动高频波产生源(1)，在第二步骤中以第二能量条件来驱动高频波产生源(1)。在第一步骤与第二步骤的切换时刻之前切换从气体提供供给系统(11)向处理容器(8)内提供供给的气体的种类，将刚切换后的初始期间内的气体流量设定成比经过初始期间后的稳定期间内的气体流量大。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：处理容器；气体供给系统，其向上述处理容器内供给气体；高频波产生源，其向上述处理容器内导入等离子体产生用的高频波；以及控制装置，其控制上述气体供给系统和上述高频波产生源，其中，上述控制装置在第一处理中以第一能量条件来驱动上述高频波产生源，在第二处理中以第二能量条件来驱动上述高频波产生源，并且，上述控制装置在上述第一处理与上述第二处理的切换时刻之前切换从上述气体供给系统向上述处理容器内供给的气体的种类，以将从上述气体供给系统向上述处理容器内供给的气体的种类从上述第一处理中使用的第一气体切换为上述第二处理中使用的第二气体，并将刚切换气体的种类后的初始期间内的上述第二气体流量设定成比经过上述初始期间后的稳定期间内的上述第二气体流量大。
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