[发明专利]可变形镜及其制造方法、眼科装置以及自适应光学系统

摘要

本发明涉及可变形镜及其制造方法、眼科装置以及自适应光学系统。提供了一种实现可变形镜的技术，所述可变形镜使用具有梳状电极结构的致动器，该可变形镜可以被相对容易地制造，并且可以在垂直于镜参考平面的两个(±)方向上移位。可变形镜(100)包括：镜基底(111)，包括反射面(110)；以及致动器(101)，包括第一致动器和第二致动器。多个致动器中的每一个经由连接部(121)连接到镜基底。第一致动器具有用于使连接部在与反射面垂直的第一方向上移位的、梳状电极结构的第一电极对(104、105)。第二致动器具有用于使连接部在与第一方向相反的第二方向上移位的、梳状电极结构的第二电极对(108、109)，第二电极对与第一电极对分开形成。

主权项

1.一种可变形镜，其特征在于，包括：镜基底，包括反射面；和致动器单元，包括第一致动器、第二致动器和连接到镜基底的连接部，第一致动器和第二致动器经由连接部连接到镜基底，第一致动器包括通向连接部的第一可移动部、用于使连接部在与所述反射面垂直的第一方向上移位的具有第一可移动梳状电极和第一固定梳状电极的第一电极对、用于支撑第一固定梳状电极的第一支撑部和连接到支撑部和所述第一可移动部的第一弹性构件，第二致动器包括通向连接部的第二可移动部、用于使连接部在与第一方向相反的第二方向上移位的具有第二可移动梳状电极和第二固定梳状电极的第二电极对、用于支撑第二固定梳状电极的第二支撑部和连接到支撑部和所述第二可移动部的第二弹性构件，第二电极对与第一电极对分开形成，其中，第一可移动部和第二可移动部包括公共的可移动部，其中，所述第一可移动梳状电极在所述公共的可移动部上形成，所述第一固定梳状电极与第一可移动梳状电极啮合，并且其中，所述第二可移动梳状电极在所述公共的可移动部上形成，所述第二固定梳状电极与第二可移动梳状电极啮合。