[发明专利]一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201510381588.4 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104962869B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 朱慧群 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 靳荣举;焦明辉 |
| 地址： | 529020*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜及其制备方法，包括玻璃衬底、ZnO镶嵌层、嵌入物，所述玻璃衬底上附着ZnO镶嵌层，ZnO镶嵌层内设有嵌入物，所述嵌入物为VO2。将高纯度的掺杂源W(或Mo、Nb、Ta、Ru元素)置于VO2靶材上，并且在玻璃衬底上引入合适厚度的异质复合层ZnO，在沉积VO2薄膜的过程中实现W掺杂、纳米结构和ZnO异质复合三者的协同作用，形成掺杂纳米镶嵌结构的VO2智能节能薄膜。提升了红外(和电学)调制幅度，降低了薄膜的相变温度和热滞回线宽度，改善了VO2薄膜的热致变色性能和红外调控效率，提高其在智能窗薄膜的应用潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 纳米 复合 镶嵌 结构 智能 节能 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂纳米复合镶嵌结构的智能节能薄膜，其特征在于：包括玻璃衬底、ZnO镶嵌层、嵌入物，所述玻璃衬底上附着ZnO镶嵌层，ZnO镶嵌层内设有嵌入物，嵌入物组成式为VO2或WxV1‑xO2，WxV1‑xO2即掺钨VO2，式中，0.01≤x≤0.1；每层VO2或掺钨VO2薄膜厚度10nm，每层ZnO厚度50nm，周期交替溅射各50层以内。
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