[发明专利]一种可变可调掺杂元素的溅射靶材及其制作过程在审
| 申请号： | 201510381628.5 | 申请日： | 2015-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN104962870A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 朱慧群 | 申请（专利权）人： | 五邑大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 靳荣举;焦明辉 |
| 地址： | 529020*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可变可调掺杂元素的溅射靶材及其制作过程，包括本体、嵌固区，所述本体上设有多个嵌固区，所述嵌固区均匀设置在本体上，且嵌固区分布在本体上的实际溅射区域，所述每个嵌固区内分别嵌固不同数量和不同种类的掺杂元素；所述本体与嵌固区的表面持平。其制作过程，包括以下步骤：(1)在靶材的溅射区域上开出多个凹槽或者沉槽作为嵌固区；(2)在凹槽或者沉槽处嵌固所需要掺杂的元素，掺杂元素的形状与凹槽或者多个凹圆洞或者多个凹方洞必须完全相同。设计简单、合理，在一个靶材上就能够具有掺杂比例和掺杂元素可调的功能，可以免去定做多个不同掺杂比例的靶材，节省大量成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可变 可调 掺杂 元素 溅射 及其 制作 过程 | ||
【主权项】：
一种可变可调掺杂元素的溅射靶材，其特征在于：包括本体、嵌固区，所述本体上设有多个嵌固区，所述嵌固区均匀设置在本体上的实际溅射区域，所述每个嵌固区内分别嵌固不同数量和不同种类的掺杂元素；所述本体与嵌固区的表面持平。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于五邑大学，未经五邑大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510381628.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
