[发明专利]测量探头

摘要

本发明涉及一种测量探头(300)，其包括触针(306)，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构(310)，其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括探头主体(302)，其用于内置轴运动机构；以及探头模块(304)，其被支承于探头主体，并用于内置旋转运动机构，并支承触针，探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此，在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。

主权项

一种测量探头，其包括：触针，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构，其具备移动构件，该移动构件使该接触部能够沿轴向移动；以及旋转运动机构，其具备旋转构件，该旋转构件利用相对于旋转中心的旋转运动而使所述接触部能够沿着与该轴向成直角的面移动，其特征在于，该测量探头包括：探头主体，其用于内置所述旋转运动机构；以及探头模块，其被支承于该探头主体，并用于内置所述轴运动机构，并支承所述触针，所述探头主体与所述探头模块利用能够互相进行定位的第1卡合部以能够装卸的方式连结起来。