[发明专利]一种光波导及其制作方法有效
| 申请号： | 201510385001.7 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104898202B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 徐培鹏;史玉秀;聂秋华;沈祥;李双 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司33102 | 代理人： | 张一平,徐芙姗 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种光波导及其制作方法，包括SOI基片，其特征在于所述SOI基片的顶层硅上设有一层掩膜层，所述掩膜层呈现光波导的掩膜图案，所述掩膜层的上方设有一层薄膜层，所述薄膜层与所述掩膜层相接触的面相互匹配，并且所述薄膜层的顶部为光滑平整的表面。通过该方法种制备的硫系玻璃光波导，制作工艺简单可控，制作的光波导均匀性好；而且方法无需对硫系玻璃膜层进行显影、刻蚀等传统光波导制作过程，可避免显影液、等离子气体对硫系玻璃的腐蚀作用和繁琐的刻蚀参数调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光波导的制作方法，其特征在于：包括以下步骤，1)在SOI基片(1)的顶层硅上生长一层掩膜层(2)；2)对掩膜层(2)依次进行光刻和刻蚀，使得该掩膜层(2)呈现需要制作的光波导的掩膜图案；3)在呈现掩膜图案的掩膜层(2)上形成一层薄膜层(3)，该薄膜层(3)与掩膜层(2)相接触的面的形状相互匹配；4)对薄膜层(3)的顶部表面进行加热磨平工艺使其形成光滑平整的表面；所述薄膜层为硫系玻璃材料。
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