[发明专利]用于CVD或PVD装置的由固体或液体原料产生蒸汽的设备

摘要

本发明涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，其具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能分别加热至传热温度，所述设备具有用于将气溶胶导入所述传热体中的一个的输入管(4)，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。在此规定，所述传热体的至少一个具有开口，输入管(4)插入所述开口中，其中，输入管(4)具有用于输入气溶胶的第一流动通道(23)和用于输入运载气体的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口(29、30)，运载气体能通过气体贯穿口(29、30)从第二流动通道(24)流向第一流动通道(23)，并且其中尤其规定，第二流动通道(24)在输入管的通口(4')的区域中是封闭的。

主权项

1.一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，所述设备具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体(12)中的、具有传热面的传热体，所述传热体包括上游的传热体和下游的传热体，使得运载气体能够从上游的传热体流出并流入下游的传热体，并且所述设备具有输入管，用于将气溶胶输入至所述传热体中的一个，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化，其中，所述传热体中的至少一个具有开口，输入管插入所述开口中，其特征在于，所述传热体能够被加热至彼此不同的温度，其中，沿流动方向位于上游的第一个传热体是用于运载气体的预热体，运载气体输入管路(11)位于该上游的传热体的上游，所述运载气体通过所述运载气体输入管路(11)能够输入到所述壳体(12)中，所述传热体在所述壳体(12)中沿流动方向依次布置，从而使运载气体穿流过所有传热体，并且要么所述输入管被导引穿过至少一个传热体的开口并且通向上游的传热体与下游的传热体之间的间隙(9、10)，要么所述输入管的通口布置在至少一个传热体中。