[发明专利]闩锁测试装置与方法有效
| 申请号： | 201510392652.9 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106324477B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王世钰;张耀文;卢道政 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种闩锁测试装置与方法，且所述闩锁测试方法包括下列步骤：执行设定操作，以依据测试区间设定基准测试值，并利用基准测试值设定触发脉冲与预设误差值；利用触发脉冲测试待测晶圆中的测试芯片，并判别测试芯片是否处于闩锁状态；依据判别结果、闩锁临界值与基准测试值，而决定是否更新测试区间与闩锁临界值以及是否回到执行设定操作的步骤；当测试芯片处于闩锁状态，且闩锁临界值与基准测试值的差值不大于预设误差值时，停止测试芯片的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 基准测试 测试芯片 闩锁测试 闩锁 触发脉冲 闩锁状态 预设 测试 测试区间 更新测试 判别结果 停止测试 晶圆 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种闩锁测试方法，其特征在于，包括：执行一设定操作，以从一测试区间所涵盖的多个测试值中择一作为一基准测试值，并利用该基准测试值设定一触发脉冲与一预设误差值，该基准测试值将该测试区间划分成一第一子区间与一第二子区间，所述第一子区间中的测试值大于基准测试值，所述第二子区间中的测试值小于基准测试值；利用该触发脉冲测试一待测晶圆中的一测试芯片，以取得至少一侦测信号；依据该至少一侦测信号判别该测试芯片是否处于一闩锁状态；当该测试芯片未处于该闩锁状态时，依据该第一子区间更新该测试区间，并回到执行该设定操作的步骤；当该测试芯片处于该闩锁状态，且一闩锁临界值与该基准测试值的差值大于该预设误差值时，依据该基准测试值与该第二子区间分别更新该闩锁临界值与该测试区间，并回到执行该设定操作的步骤；以及当该测试芯片处于该闩锁状态，且该闩锁临界值与该基准测试值的差值不大于该预设误差值时，停止该测试芯片的测试。
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