[发明专利]一种薄膜晶体管液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管液晶显示装置及其制造方法。其第一金属层用以定义薄膜晶体管的栅极，栅极绝缘层形成于第一金属层的上方，非晶硅层位于栅极绝缘层的上方，第二金属层用以定义薄膜晶体管的源极和漏极，第一绝缘层位于栅极绝缘层的上方，平坦层位于第一绝缘层的上方。第一导电层位于平坦层的上方，第三金属层位于第一导电层的上方，第二绝缘层设置在第一导电层和第三金属层的上方，第二导电层设置在第二绝缘层的上方且具有不同于第一和第二预设图案的第三预设图案。相比于现有技术，本发明可连续沉积第一导电层和第三金属层并对其进行图案化，因此减少了光罩PEP数量，进而降低制程成本和增加产能。

主权项

一种薄膜晶体管液晶显示装置的制造方法，其特征在于，该制造方法包括以下步骤：形成一第一金属层于一基板上，该第一金属层经蚀刻用以定义薄膜晶体管的栅极；形成一栅极绝缘层于所述第一金属层的上方；形成一非晶硅层于所述栅极绝缘层的上方且与所述栅极正对设置；形成一第二金属层于所述非晶硅层的上方，该第二金属层经蚀刻用以定义该薄膜晶体管的源极和漏极；形成一第一绝缘层于该栅极绝缘层的上方并覆盖该源极和该漏极；形成一平坦层于所述第一绝缘层的上方；依次沉积一第一导电层和一第三金属层于该平坦层的上方；对所述第一导电层和所述第三金属层进行图案化处理；形成一第二绝缘层于图案化的所述第一导电层和所述第三金属层的上方；以及形成一图案化的第二导电层于所述第二绝缘层的上方。