[发明专利]一种搬送机械手和激光退火装置有效
| 申请号： | 201510395184.0 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN105097626B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王学勇;任庆荣;王路;陈艳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开了一种搬送机械手和激光退火装置，其中，该搬送机械手包括支撑结构；还包括：用于使待搬送物体中的半导体材料中产生自由电子的自由电子激发装置；用于检测待搬送物体中与支撑结构的支撑面相对设置的表面材料能否导电的检测装置。上述搬送机械手在激光退火工艺中用于搬运基板时，可以检测出将基板放置于准分子激光退火设备中时是否为基板的非晶硅薄膜一侧朝向准分子激光器，即基板放置是否正确。因此，该搬送机械手用于激光退火工艺时，可以有效避免由于基板放置错误而导致的激光退火工艺中对基板造成的损害或不良；并且该激光退火装置可以很大度上提高效率，节省人力，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 激光 退火 装置 | ||
【主权项】：
1.一种搬送机械手，包括支撑结构；其特征在于，还包括：用于使待搬送物体中的半导体材料中产生自由电子的自由电子激发装置；用于检测待搬送物体中与支撑结构的支撑面相对设置的表面的材料能否导电的检测装置；所述待搬送物体的一侧表面为绝缘不导电材料、另一侧表面为在自由电子激发装置的激发下可以产生自由电子从而进行导电的材料。
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