[发明专利]一种离子栅门及其制作方法

摘要

本发明公开了一种离子栅门及其制作方法，该离子栅门包括绝缘圆环支架、以及固定在所述绝缘圆环支架的侧面上的网栅电极；所述网栅电极包括第一电极、第二电极、多个第一网栅丝条和多个第二网栅丝条，所述第一网栅丝条与所述第二网栅丝条间隔平行设置，所述第一网栅丝条的一端固定在所述第一电极上，另一端悬空且与所述第二电极的距离为预设第一距离；所述第二网栅丝条的一端固定在所述第二电极上，另一端悬空且与所述第一电极的距离为预设第二距离。该离子栅门结构简单，网栅电极平整，相邻网栅丝条的平行度较好且间距一致，提高了离子栅门的开关性能。

主权项

一种离子栅门的制作方法，离子栅门，包括：绝缘圆环支架、以及固定在所述绝缘圆环支架的侧面上的网栅电极；所述网栅电极包括：第一电极、第二电极、多个第一网栅丝条和多个第二网栅丝条，所述第一网栅丝条与所述第二网栅丝条间隔平行设置，所述第一网栅丝条的一端固定在所述第一电极上，另一端悬空且与所述第二电极的距离为预设第一距离；所述第二网栅丝条的一端固定在所述第二电极上，另一端悬空且与所述第一电极的距离为预设第二距离，其特征在于，包括：将待加工网栅电极固定在绝缘圆环支架的侧面上；对所述待加工网栅电极中与第二电极相连的多个第一网栅丝条进行切断处理；对所述待加工网栅电极中与第一电极相连的多个第二网栅丝条进行切断处理，得到离子栅门；其中，所述待加工网栅电极包括第一电极和第二电极，以及间隔平行设置且两端分别固定在所述第一电极和所述第二电极上的待加工的第一网栅丝条和待加工的第二网栅丝条。