[发明专利]用于管腔内聚合物沉积的设备和方法

摘要

本发明涉及用于管腔内聚合物沉积的设备和方法。用于将涂层涂覆至在制品的通道周围的内表面的方法和设备。在该制品的通道内从工艺气体产生等离子体，并且从等离子体将涂层沉积到该内表面上。该制品可选择地放置在导电导管的通道内。该制品或该导电导管被与射频发生器相联接以在制品通道内产生等离子体。

主权项

1.一种将涂层涂覆到多个制品的方法，每个制品具有第一端和与所述第一端相反的第二端、通道、围绕所述通道的内部表面，和外部表面，所述方法包括：将所述多个制品放置在多个导电导管内，每个导电导管具有两个相反端、通道和围绕所述通道的内部表面，从而每个制品的第一端和第二端中的至少一端位于所述多个导电导管中的一个导电导管的两个相反端内，并且间隙形成在每个导电导管的内部表面与每个相应制品的外部表面之间；当所述制品位于所述多个导电导管中的一个导电导管的通道内时在每个制品的通道内从工艺气体产生等离子体放电；防止在每个导电导管的内部表面与每个制品的外部表面之间的每个间隙中的等离子体放电；以及从所述等离子体放电将所述涂层沉积在所述多个制品中的每个制品的内部表面上。