[发明专利]光学元件缺陷激光近场调制检测装置及诱导损伤预测方法

摘要

一种光学元件缺陷激光近场调制检测装置及诱导损伤预测方法，所述装置构成包括光纤激光器、光衰减器、光分束器、光纤准直器、第一电动平移台、电动升降台、4个缩束系统、4个面阵CCD、第二电动位移台和计算机。本发明适用于检测各种光学元件激光近场调制及诱导损伤预测，具有成本低、检测速度快、检测图像实时存储、检测结果实时判断等特点。

主权项

一种利用光学元件缺陷激光近场调制检测装置对光学元件缺陷诱导损伤的预测方法，该光学元件缺陷激光近场调制检测装置，由光纤激光器(1)、光衰减器(2)、光分束器(3)、光纤准直器(4)、第一电动平移台(5)、电动升降台(6)、缩束系统(7)、面阵CCD(8)、第二电动平移台(9)和计算机(10)构成，沿所述的光纤激光器(1)的输出光束方向依次是所述的光衰减器(2)和光分束器(3)，该光分束器(3)将1束激光分成4束激光，该光分束器(3)出射的4束激光通过光纤进入所述的光纤准直器(4)；所述的第一电动平移台(5)和电动升降台(6)构成二维平移台，供待测样品设置，所述的第二电动平移台(9)上设置有2×2排布的4个缩束系统(7)和2×2排布的4个面阵CCD(8)，所述的2×2排布的4个面阵CCD(8)一一对应地位于所述的2×2排布的4个缩束系统(7)的像方焦点位置，所述的面阵CCD(8)的输出端与所述的计算机(10)的输入端相连，所述的计算机(10)的输出端与所述的第一电动平移台(5)、电动升降台(6)和第二电动平移台(9)的控制端相连；其特征在于该方法包括步骤如下：1)将待测光学元件(11)放置到第一电动平移台(5)上，开启装置后，光纤激光器(1)输出1束激光依次经光衰减器(2)、光分束器(3)、光纤准直器(4)后输出4束激光；2)通过第一电动平移台(5)和电动升降台(6)带动待测光学元件11移出上述4束激光入射位置，使4束激光一一对应入射4个缩束系统(7)和面阵CCD(8)，通过第二电动平移台(9)带动缩束系统(7)和面阵CCD(8)同时移动，面阵CCD(8)采集没有待测光学元件(11)时的光束近场强度I0(x,y,z)随传输距离的变化；3)通过第一电动平移台(5)和电动升降台(6)将待测光学元件(11)移到光束入射位置，通过第二电动平移台(9)带动缩束系统(7)和面阵CCD(8)移动至待测光学元件(11)的成像面，然后使缩束系统(7)和面阵CCD(8)整体向远离待测光学元件(11)的方向等间距移动适当距离，从而使面阵CCD(8)获得经待测光学元件(11)后的光束近场Ic(x,y,z)随传输距离的变化,计算机(10)同步显示对应图像的最大光强增加倍数max[Ic(x,y,z)/I0(x,y,z)]，并对出现较大光强增加倍数的图像进行储存；4)通过第一电动平移台(5)和电动升降台(6)带动待测光学元件(11)移至未检测的位置，再重复步骤3)，从而实现待测光学元件(11)整个面上的检测，计算机(10)显示面阵CCD(8)的采集图像，经数据处理并选择性储存图像数据。