[发明专利]一种光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置有效
| 申请号： | 201510401844.1 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN104964762B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 朱君;秦柳丽;宋树祥;傅得立 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01K11/00 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光栅结构的铌酸锂‑金‑铌酸锂表面等离子激元温度传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层玻璃层、第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层，第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层形成铌酸锂‑金‑铌酸锂介质波导结构；所述的铌酸锂‑金‑铌酸锂为对称的铌酸锂介质波导结构；所述铌酸锂介质波导结构的中间层金层为周期光栅结构。这种等离子激元温度传感装置将亚波长尺度的表面等离子技术应用在温度传感领域提高了器件的适应性和灵敏度，弥补了微机电系统应用中温度传感器精度低、稳定性差、反应时间长的缺陷，特别是具有的纳米级尺寸可以为光电集成的发展提供关键器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 结构 铌酸锂 表面 等离子 温度 传感 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光栅结构的铌酸锂‑金‑铌酸锂表面等离子激元温度传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层玻璃层、第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层，第一铌酸锂层、金层和第二铌酸锂层形成铌酸锂‑金‑铌酸锂介质波导结构，所述的铌酸锂‑金‑铌酸锂为对称的铌酸锂介质波导结构，所述铌酸锂介质波导结构的中间层金层为周期的光栅结构，所述的铌酸锂‑金‑铌酸锂的介质波导结构采用溶胶—凝胶工艺制备。
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