[发明专利]具有滤光器的紫外传感器

摘要

提供技术用来提供光传感器，该光传感器包括设置在光电探测器之上的滤光器以滤除可见光和红外光波长从而允许对紫外(UV)光波长进行感测。在一个或多个实施方式中，该光传感器包括具有衬底的半导体器件(例如，管芯)。光电探测器(例如，光电二极管，光电晶体管等)形成在该衬底上且与该衬底的表面邻近。在一个或多个实施方式中，该衬底包括绝缘体上硅(SOI)衬底。滤光器(例如，吸收滤光器，干涉滤光器，平通滤光器，基于McKinlay-Diffey红斑作用光谱的滤光器，UVA/UVB滤光器等等)设置在光电探测器之上。该滤光器配置为从该光传感器接收的光中滤除红外光和可见光，以至少基本阻碍红外光和可见光到达该光电探测器。该SOI衬底的厚度可以是定制的以改变接收到的UV/可见光波长的比例。

主权项

一种光传感器，包括：具有表面的衬底；光电探测器，形成在所述衬底上且配置为探测光并提供响应信号；和滤光器，设置在所述衬底的所述表面上，且配置为阻止可见光并允许在至少一部分紫外光谱波长中的光通过而到达所述光电探测器。