[发明专利]无电极铜电镀组合物有效
申请号: | 201510404335.4 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN105274591B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | D·S·莱塔尔;C·P·L·李;A·L-F·周 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司;陶氏环球技术有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 樊云飞,陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及无电极铜电镀浴液,其包括替代目前用于无电极电镀工业中的常规还原剂的还原剂。无电极铜浴液是稳定的并且在基板上沉积橙红色明亮的铜沉积物。排除许多对环境有害的常规还原剂能够产生环保的无电极铜电镀浴液。 | ||
搜索关键词: | 电极 电镀 组合 | ||
【主权项】:
一种组合物,其包含一或多种铜离子源、一或多种螯合剂和一或多种具有下式的化合物:其中R1和R2可相同或不同且是直链或分支链(C1‑C4)烷基。
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