[发明专利]大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置及方法有效
申请号: | 201510404630.X | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN105158209B | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 段亚轩;陈永权;赵怀学;李坤;田留德;赵建科;薛勋;刘尚阔;潘亮;聂申;昌明;张洁;胡丹丹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置及其方法,准直镜、起偏器和半透半反镜依次设置在激光器的出射光所在光路上;半透半反镜将入射至半透半反镜的光进行反射和透射并分别形成反射光和透射光;会聚镜设置在反射光所在光路上并将反射光会聚至积分球功率计中;缩束系统物镜、缩束系统目镜和夏克‑哈特曼波前传感器依次设置在透射光所在光路上;待测大口径单轴晶体置于起偏器和半透半反镜之间;计算机分别与积分球功率计、夏克‑哈特曼波前传感器和待测大口径单轴晶体相连。本发明可实现大口径单轴晶体折射率均匀性测量,不受波长限制,和外界环境气流和振动的影响,并很好的保证测量精度。 | ||
搜索关键词: | 口径 晶体 折射率 均匀 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置,其特征在于:所述大口径单轴晶体折射率均匀性测量装置包括激光器、准直镜、起偏器、待测大口径单轴晶体、半透半反镜、会聚镜、积分球功率计、缩束系统物镜、缩束系统目镜、夏克‑哈特曼波前传感器以及计算机;所述准直镜、起偏器以及半透半反镜依次设置在激光器的出射光所在光路上;所述半透半反镜将入射至半透半反镜的光进行反射以及透射并分别形成反射光以及透射光;所述会聚镜设置在反射光所在光路上并将反射光会聚至积分球功率计中;所述缩束系统物镜、缩束系统目镜以及夏克‑哈特曼波前传感器依次设置在透射光所在光路上;待测大口径单轴晶体置于起偏器和半透半反镜之间;所述计算机分别与积分球功率计、夏克‑哈特曼波前传感器以及待测大口径单轴晶体相连。
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