[发明专利]一种大尺寸氮化硅坩埚的制备方法在审
申请号: | 201510404754.8 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN105000890A | 公开(公告)日: | 2015-10-28 |
发明(设计)人: | 郭大为;陆宁;宋丽岑;吕东 | 申请(专利权)人: | 烟台同立高科新材料股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/622 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 王澎 |
地址: | 265500 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种大尺寸氮化硅坩埚的制备方法,包括:(1)将氮化硅粉、分散剂、烧结助剂、粘结剂与溶剂混合均匀,得到浆料;(2)将浆料边搅拌边注入石膏模具的型腔内,并将模具置于恒温恒湿环境中吸水排水,得到成型固化的坯体;(3)拆掉模具的模芯和边模,将成型固化的坯体置于固化炉中,使产品固化并干燥,得到生坯;(4)将生坯置于气压烧结炉内,进行分段烧结,待烧结结束后,降温,泄压出炉,即得氮化硅坩埚。本发明以二氧化硅和氮化硅镁为烧结助剂,制备的氮化硅坩埚氧杂质及金属杂质含量少、体积密度大、高温强度大、尺寸大,可以广泛应用于各种有色金属熔炼和硅晶铸锭,且制备方法操作简便,易于大规模推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 氮化 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种大尺寸氮化硅坩埚的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将氮化硅粉、分散剂、烧结助剂、粘结剂与溶剂混合均匀,得到浆料;(2)将步骤(1)得到的浆料边搅拌边注入石膏模具的型腔内,并将模具置于恒温恒湿环境中吸水排水,得到成型固化的坯体;(3)拆掉模具的模芯和边模,将步骤(2)所得成型固化的坯体置于固化炉中,使产品固化并干燥,得到生坯;(4)将步骤(3)所得生坯置于气压烧结炉内,进行分段烧结,待烧结结束后,降温,泄压出炉,即得氮化硅坩埚。
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