[发明专利]多晶黑硅制绒处理液、应用其进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品在审
| 申请号： | 201510405297.4 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN105154982A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 叶继春;高平奇;廖明墩;应智琴;韩灿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;C23F1/14;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郭晓华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶黑硅制绒处理液，其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐，其中所述氢氟酸溶液与过氧化氢溶液的体积比为1～25:5～40，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％，所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种，所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L～105μmol/L。本发明还提供一种应用多晶黑硅制绒处理液进行多晶硅片制绒的方法以及多晶黑硅制绒品。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 黑硅制绒 处理 应用 进行 硅片 方法 以及 黑硅制绒品 | ||
【主权项】：
一种多晶黑硅制绒处理液，其特征在于，其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐，其中所述氢氟酸溶液与过氧化氢溶液的体积比为1～25:5～40，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％，所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种，所述金属盐的摩尔浓度为1μmol/L～105μmol/L。
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