[发明专利]一种光阻汲取装置在审
申请号: | 201510405817.1 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN104932203A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 宋江江 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种光阻汲取装置,包括光阻瓶、设于所述光阻瓶瓶口的密封盖以及穿过所述密封盖插设于所述光阻瓶内的进气管和光阻汲取管,所述光阻瓶内还设有用于搅拌光阻的搅拌组件。本发明通过设计一种新型的光阻汲取装置,内置搅拌组件,可以有效改善高精细光阻易沉降的状况,提高彩色滤光片产品的稳定性,减少产品缺陷,提高产品的良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 汲取 装置 | ||
【主权项】:
一种光阻汲取装置,其特征在于,包括光阻瓶(10)、设于所述光阻瓶(10)瓶口的密封盖(11)以及穿过所述密封盖(11)插设于所述光阻瓶(10)内的进气管(12)和光阻汲取管(13),所述光阻瓶(10)内还设有用于搅拌光阻的搅拌组件(20)。
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