[发明专利]电化学机械抛光装置在审

专利信息
申请号: 201510407737.X 申请日: 2015-07-13
公开(公告)号: CN105710761A 公开(公告)日: 2016-06-29
发明(设计)人: 倪建明 申请(专利权)人: 倪建明
主分类号: B24B37/02 分类号: B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200093 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于管件内壁抛光的电化学机械抛光装置。所述电化学机械抛光装置包括:工作台,所述管件适于置于所述工作台上;导引结构,所述工作台适于沿所述导引结构滑动,以带动所述管件移动;以及电极块包括第一电极块和第二电极块,所述第一电极与所述第二电极极性相反,所述第一电极块适于与所述管件电连接,所述第二电极适于在所述管件随所述工作台沿所述导引结构滑动时穿过所述管件。
搜索关键词: 电化学 机械抛光 装置
【主权项】:
一种用于管件内壁抛光的电化学机械抛光装置,其特征在于,包括:工作台,所述管件适于置于所述工作台上;导引结构,所述工作台适于沿所述导引结构滑动,以带动所述管件移动;以及电极块包括第一电极块和第二电极块,所述第一电极与所述第二电极极性相反,所述第一电极块适于与所述管件电连接,所述第二电极适于在所述管件随所述工作台沿所述导引结构滑动时穿过所述管件。
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