[发明专利]三维电极材料及其制备方法、固体超级电容器有效

专利信息
申请号: 201510408772.3 申请日: 2015-07-13
公开(公告)号: CN106653387B 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: 张跃钢;侯远;丘勇才;李桂珠;杨洁;刘美男;周莉莎;李宛飞 申请(专利权)人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
主分类号: H01G11/36 分类号: H01G11/36;H01G11/26;H01G11/86
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰;黄进
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种三维电极材料,其特征在于,包括:在铝箔上形成的Al纳米钉阵列;在所述Al纳米钉阵列上形成的镍层;在所述镍层上形成的MnOx纳米钉阵列。其制备方法包括:S101、采用阳极氧化工艺和刻蚀工艺在铝箔上生长Al纳米钉阵列;S102、采用磁控溅射工艺在所述Al纳米钉阵列生长一镍层;S103、采用三电极电沉积工艺在所述镍层上生长MnOx纳米钉阵列,获得三维电极材料。本发明还公开了一种固体超级电容器,其包括如上所述三维电极材料制备形成的电极。该电极材料应用于固体超级电容器中,提高了电容器的面积比电容,也提高了电容器的倍率特性和循环性能。
搜索关键词: 三维 电极 材料 及其 制备 方法 固体 超级 电容器
【主权项】:
1.一种三维电极材料,其特征在于,包括:在铝箔上依次采用阳极氧化工艺和刻蚀工艺原位生长形成的Al纳米钉阵列;在所述Al纳米钉阵列上形成的镍层;在所述镍层上形成的MnOx纳米钉阵列,其中,x=1~2。
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