[发明专利]用于薄膜晶体管的铝基板

摘要

本发明涉及用于薄膜晶体管的铝基板。一种由再结晶铝合金构成的基板。有机聚合物层涂覆在该铝基板的顶表面。SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层位于该有机聚合物上并且至少一个电极附着于该SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层。一种方法，该方法包括在铝基板上沉积有机聚合物，退火该铝基板；在该有机聚合物上沉积SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层；以及将电极附着于该SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层。

主权项

—种器件，包括：a.由再结晶铝合金构成的基板；b.位于该铝基板的顶表面上的有机聚合物；c.位于该有机聚合物上的SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层；以及d.至少一个电极，其附着于所述SiO₂、SiN和Al₂O₃之一的层。