[发明专利]贴合治具有效
申请号: | 201510410438.1 | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN105093575B | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 曹宇 | 申请(专利权)人: | 业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 谢志为 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种贴合治具用于贴合第一基板和第二基板,其包括腔体及设置于腔体内的承载机构。腔体上开设有用于连通腔体内外的开口。承载机构包括底座及承载台。底座开设有用于连通腔体和承载台的空腔。承载台放置于底座上,用于承载第一基板。承载台开设有第一导气通道。第一导气通道用于提供承载台和腔体之间的导气通路。承载台还包括控制结构。控制结构用于建立或切断第一导气通道与腔体之间的连接。当利用抽气装置通过开口对腔体内进行抽真空时,控制结构使得第一导气通道与腔体相连通,承载台内的空气通过第一导气通道进入腔体内。 | ||
搜索关键词: | 承载台 导气通道 腔体 控制结构 体内 底座 承载机构 第一基板 贴合治具 开口 腔体相连通 抽气装置 导气通路 第二基板 空气通过 连通腔体 抽真空 进入腔 连通腔 空腔 贴合 承载 | ||
【主权项】:
1.一种贴合治具,用于贴合第一基板和第二基板;该贴合治具包括腔体及设置于腔体内的承载机构;该腔体上开设有开口;该开口用于连通腔体内外以形成空气流通通道;该承载机构包括底座及承载台;该底座开设有空腔;该空腔用于连通腔体和承载台以形成空气流通通道;该承载台放置于底座上,用于承载第一基板;其特征在于:该承载台开设有第一导气通道;该第一导气通道用于提供承载台和腔体之间的导气通路;该第一导气通道贯穿该承载台;该承载台还包括两个控制结构;该两个控制结构分别设置于该第一导气通道两端;该控制结构用于建立或切断第一导气通道与腔体之间的连接;当利用抽气装置通过开口对腔体内进行抽真空时,该两个控制结构同步控制该第一导气通道与腔体相连通,该承载台内的空气通过第一导气通道进入腔体内。
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