[发明专利]OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201510412058.1 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106350767B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 李柏德;张耀宇;严达祥;林进志 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56;G01N21/88;G01R19/145 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201508 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法，该结构包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；以及设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜。本发明的OLED基板蒸镀结构可以在对基板蒸镀之前发现掩膜存在的缺陷。这种提前检测的方式可以避免在制作出成品之后发现掩膜存在的问题，从而产品的稳定性以及良率。 | ||
| 搜索关键词： | oled 基板蒸镀 结构 以及 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种OLED基板蒸镀结构，其特征在于包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜；以及压电信号转换装置，所述压电信号转换装置连接于所述压电感测薄膜，用于将所述压电感测薄膜检测到的压力信号转换为电信号。
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