[发明专利]一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法在审

专利信息
申请号: 201510415939.9 申请日: 2015-07-15
公开(公告)号: CN105084307A 公开(公告)日: 2015-11-25
发明(设计)人: 云峰;赵宇坤;黄亚平;李虞锋 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y40/00;H01L51/56;H01L31/0236
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 岳培华
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,先使PS纳米球溶液分散均匀后在水面预组装形成PS纳米球单层膜,然后将PS纳米球单层膜转移至经亲水性处理的样品表面,再在样品表面沉积金属,最后去除样品表面的PS纳米球,即得到共振峰位可调的金属纳米结构。本发明沉积的金属的厚度可以精确控制,能够精确控制金属纳米结构的尺寸,并且该方法可以根据需要选择沉积的具体金属材料,从而使得金属纳米结构的共振峰位可调,能够适应在不同应用中对不同共振峰位的要求。该方法的制备温度较低,避免了高温制备对光电子器件带来的负面影响,并且可以简化制备流程,降低溶液污染,能够保持样品表面的洁净度,从而对光电子器件的性能进一步提升。
搜索关键词: 一种 共振 可调 金属 纳米 结构 制备 方法
【主权项】:
一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:a)对样品表面进行亲水性处理;b)制备均匀分散的PS纳米球溶液:将PS纳米球分散液和无水乙醇按体积比为1:(1~10)混合,超声分散均匀,得到均匀分散的PS纳米球溶液;其中PS纳米球的直径为50nm~1000nm,PS纳米球分散液中PS纳米球的质量分数为5%~20%;c)PS纳米球在水面的预组装:将均匀分散的PS纳米球溶液滴加到经亲水性处理后的Si片上,再将该硅片以10~45°的倾斜角度伸入盛有去离子水的容器中,PS纳米球滑入去离子水中,在水面预组装形成PS纳米球单层膜;其中滴加到Si片上的PS纳米球溶液的体积V与容器中去离子水的表面积S的关系为V/S=0.5~5μL/cm2;d)将PS纳米球单层膜转移至经步骤a)处理的样品表面,在样品表面得到单层自主装的PS纳米球结构;e)通过电子束蒸发、热蒸发或磁控溅射的方式在具有单层自主装的PS纳米球结构的样品表面沉积金属,沉积的金属的总厚度小于PS纳米球结构中PS纳米球的半径;f)将沉积金属后的样品表面的PS纳米球结构去除,即在样品表面得到共振峰位可调的金属纳米结构。
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