[发明专利]基板裂断装置有效
| 申请号： | 201510416456.0 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105382944B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 朱阮镛;张成云 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板裂断装置，在基板将冲击荷重有效地进行传达。该基板裂断装置设有：空气轴承台，自形成于与基板对向之面的多个喷射孔将空气喷射而对前述基板进行支持；裂断单元，将前述基板夹持，设于与前述空气轴承台的相反侧，将力施加于前述基板而将前述基板裂断。本发明提供的技术方案具有以下优点：借由在基板将冲击荷重有效地进行传达而能够容易地将基板进行分断；又，借由在移送单元之间配置空气轴承台及裂断单元，能够使整体配置缩小。 | ||
| 搜索关键词： | 基板裂断 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板裂断装置，其特征在于，包含：空气轴承台，自形成于与基板对向之面的多个喷射孔将空气喷射而对前述基板进行支持；裂断单元，其设于前述基板的前述空气轴承台侧的相反侧，将力施加于前述基板而将前述基板裂断；前述空气轴承台，是以朝向于上下方向互相相异的方向的一对相邻的方式配置；与前述一对空气轴承台之中向上方的一个对向的前述裂断单元是销裂断单元；与前述一对空气轴承台之中向下方的另一个对向的前述裂断单元是辊裂断单元。
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