[发明专利]利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法

摘要

本发明涉及一种利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其包括如下步骤步骤1、根据所述测试数据生成与所述测试数据对应的恢复参考图；步骤2、根据所述已完成完整测试的MAP图对上述生成的恢复参考图进行调整，恢复参考图在调整后形成调整恢复图；步骤3、利用设置管芯测试属性后的调整恢复图生成恢复MAP图；步骤4、当恢复MAP图的管芯XY坐标与恢复参考图内的管芯XY坐标一致时，则确定根据测试数据恢复MAP图成功，否则，调整测试数据内的管芯XY坐标并重复上述步骤，直至能确定根据测试数据恢复MAP图成功。本发明避免了晶圆的重复测试，大大降低了重复测试可能带来的质量风险，能满足一些特殊行业的严苛的测试要求，安全可靠。

主权项

一种利用测试数据恢复TSK系列探针台MAP的方法，其特征是，所述TSK系列探针台MAP的恢复方法包括如下步骤：步骤1、提供晶圆测试时生成的测试数据，所述测试数据包括管芯XY坐标，SITE编号；确定SITE数目以及探针排布方向，以根据所述测试数据生成与所述测试数据对应的恢复参考图；步骤2、提供并打开任意一张与上述测试晶圆属同一批次晶圆的已完成完整测试的MAP图，根据所述已完成完整测试的MAP图对上述生成的恢复参考图进行调整，恢复参考图在调整后形成调整恢复图，所述调整恢复图内的测试信息与已完成完整测试的MAP图内的测试信息相吻合；步骤3、以已完成完整测试MAP图为标准参考，对调整恢复图内每个管芯的测试属性进行设置，并利用设置管芯测试属性后的调整恢复图生成恢复MAP图；步骤4、打开上述恢复MAP图，并将所述打开的恢复MAP图与恢复参考图进行对比，当恢复MAP图的管芯XY坐标与恢复参考图内的管芯XY坐标一致时，则确定根据测试数据恢复MAP图成功，否则，调整测试数据内的管芯XY坐标并重复上述步骤，直至能确定根据测试数据恢复MAP图成功。