[发明专利]一种短波红外多通道集成光谱组件无效
| 申请号： | 201510416712.6 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN105021278A | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 邵秀梅;周东平;方家熊;程吉凤;徐勤飞;黄松垒;陈郁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所;上海晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种短波红外多通道集成光谱组件，它包括：高长宽比InGaAs线列光敏芯片、读出电路、过渡电极板、测温电阻、半导体致冷器、多通道数字式分光器、窗口、金属管壳与盖板。多通道数字式分光器作为微型光谱仪的分光元件，通过边缘金属化焊接直接固定在高长宽比InGaAs线列光敏芯片上，集成在探测器组件内部。本发明优点是：InGaAs线列光敏芯片的光敏元为高长宽比结构，可提高光谱测试的信噪比；多通道数字式分光器可在单个基片上实现光谱的精细调控，并抑制各通道内的光谱噪声、通道间串音、通道外杂散光；在探测器组件实现多个光谱通道探测简化了微型光谱仪的结构，提高仪器的可靠性和稳定性，减轻仪器的重量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 短波 红外 通道 集成 光谱 组件 | ||
【主权项】：
一种短波红外多通道集成光谱组件，包括高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)、读出电路(2)、过渡电极板(3)、测温电阻(4)、半导体致冷器(5)、多通道数字式分光器(6)、窗口(7)、金属管壳(8)与盖板(9)，其特征在于：所述的多通道数字式分光器(6)作为微型光谱仪的分光元件，通过边缘金属化焊接，直接与高长宽比InGaAs线列光敏芯片(1)耦合，集成到短波红外多通道集成光谱组件中。
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