[发明专利]整体式PSS刻蚀托盘治具

摘要

本发明公开了一种整体式PSS刻蚀托盘治具，包括整体式托盘与由金属材料制成的压环，所述的整体式托盘上排列设置有多个片槽，每个所述的片槽内设置用于放置晶圆片的搭阶，所述的片槽内位于搭阶的下方设置有冷却腔，所述的冷却腔设置多个冷却孔，所述的冷却孔通有冷却气体，每个所述的片槽内的晶圆片上方设置压环，所述的压环呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。由于采用了以上技术方案，本发明将石英件的优点与金属件的优点结合了起来，对边缘效应有较好的改善效果，不需要使用如定位盘等额外工具，且不需要使用真空脂等密封材料，操作简便，可以提高工效，节省人工成本。

主权项

一种整体式PSS刻蚀托盘治具，其特征在于：包括整体式托盘（1）与由金属材料制成的压环（2），所述的整体式托盘（1）上排列设置有多个片槽（3），每个所述的片槽（3）内设置用于放置晶圆片的搭阶（4），所述的片槽（3）内位于搭阶（4）的下方设置有冷却腔（5），所述的冷却腔（5）设置多个冷却孔（6），所述的冷却孔（6）通有冷却气体，每个所述的片槽（3）内的晶圆片上方设置压环（2），所述的压环（2）呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。