[发明专利]硅单晶拉制方法在审

专利信息
申请号: 201510417457.7 申请日: 2015-07-15
公开(公告)号: CN105063744A 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 李英涛;徐由兵;贾瑞峰;邹凯;高一凡;曾世铭 申请(专利权)人: 包头市山晟新能源有限责任公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 刘春生;于宝庆
地址: 014100 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 一种硅单晶拉制方法包括如下步骤:全熔稳定,将坩埚内的硅料熔化,待所述硅料完全熔化后将功率降至引晶功率;然后将所述坩锅转开至引晶转速稳定熔体;引晶,高温熔接,采用Dash缩颈排除位错法引晶;放肩;转肩;等径,手动控制晶体等径生长至所需长度,待直径控制均匀、拉速稳定后自动控制所述晶体生长;收尾;以及停炉。采用本发明的方法拉制的硅单晶,单晶头部空位团明显减少,头部氧含量也较现有方法制备的单晶低,采用本发明的方法拉制硅单晶制备的电池不会出现黑心片问题。
搜索关键词: 硅单晶 拉制 方法
【主权项】:
一种硅单晶拉制方法,其特征在于,包括以下步骤:全熔稳定,将坩埚内的硅料熔化,待所述硅料完全熔化后将功率降至引晶功率;然后将所述坩埚转开至引晶转速稳定熔体;引晶,高温熔接,采用Dash缩颈排除位错法引晶;放肩;转肩;等径,手动控制晶体等径生长至所需长度,待直径控制均匀、拉速稳定后自动控制所述晶体生长;收尾;以及停炉。
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