[发明专利]一种聚焦离子枪

摘要

本发明公开了一种离子枪结构用于离子减薄仪对固体材料进行减薄。它包括第一阴极，凹孔形阳极和第二阴极；第一阴极与凹孔形阳极之间的电压控制在0‑2kV之间，凹孔形阳极与第二阴极之间的电压为0‑6kV之间。第一阴极一端有一小孔供氩气进入到第一阴极与凹孔形阳极之间，在电场作用下氩气被离子化形成阳离子Ar+，并进入凹孔阳阳极与第二阴极之间。凹孔形阳极中心有一孔径为1mm～2mm的孔，一面由绝缘层覆盖，另一面为凹孔金属面，经过初步离子化的氩气离子进入凹孔形阳极区时，在凹孔形阳极与第二阴极间的高压电场作用下，Ar+被加速并形成基本平行的离子束，冲出离子枪而对样品进行减薄。本发明的离子枪的聚焦性能好，在对固体样品进行减薄时，样品的温度上升温度小。

主权项

一种聚焦离子枪，其特征在于，包括第一阴极(1)，凹孔形阳极(2)和第二阴极(3)；所述第一阴极(1)与所述凹孔形阳极(2)之间的电压为0‑2kV，所述凹孔形阳极(2)与所述第二阴极(3)之间的电压为0‑6kV；其中第一阴极(1)的一端具有曲率半径为3mm～20mm的弧面，所述第一阴极(1)的另一端设置有一小孔供氩气进入到所述第一阴极(1)与凹孔形阳极(2)之间，在电场作用下氩气被离子化形成阳离子Ar+，并进入凹孔形阳极(2)与第二阴极(3)之间；所述凹孔形阳极(2)的一端具有锥形面，所述凹孔形阳极(2)的另一端的中心设置有孔，一面由绝缘层覆盖，另一面为凹孔金属面，经过初步离子化的氩气离子进入凹孔形阳极区时，在凹孔形阳极(2)与第二阴极(3)的高压电场作用下，Ar+被加速并形成基本平行的离子束，冲出离子枪而对样品进行减薄。