[发明专利]一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具

摘要

本发明公开了一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具。其包括支撑结构和调节结构；支撑结构由支脚、支脚平衡板、第一托起板、底部支撑台、第二托起板、顶部支撑台构成；调节结构由调节把手、滚珠轴承、调节卡垫、调节轴、调节齿轮、从动齿轮、转台轴、转台、连接螺柱、牵引脚、支撑螺柱、支撑柱、支撑球构成。通过转动调节把手，调节齿轮带动从动齿轮旋转，从而使转台旋转；转台驱动牵引脚旋转偏移，从而带动支撑柱沿着顶部支撑台的凹槽向里或向外移动。本发明可满足对不同尺寸磨削晶圆翘曲测量时的支撑与定位，配合晶圆翘曲设备可对不同尺寸磨削晶圆翘曲进行快速测量。本发明结构简单，操作方便，安全可靠。

主权项

一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具，其特征在于，包括支撑结构和调节结构；所述支撑结构包括：支脚(110)、支脚平衡板(119)、第一托起板(501)、第二托起板(502)、底部支撑台(116)、顶部支撑台(104)；其中，支脚(110)为圆柱形，支脚平衡板(119)为圆形板，支脚平衡板(119)直径大于支脚(110)直径，支脚平衡板(119)和支脚(110)固结；第一托起板(501)通过第一固定螺钮(301)与底部支撑台(116)连接，底部支撑台(116)上设有通孔，第二托起板(502)通过第二固定螺钮(302)与顶部支撑台(104)连接，顶部支撑台(104)上设有凹槽(105)、定位线(109)、刻度线(201)；所述调节结构包括：调节把手(118)、滚珠轴承(601)、卡垫(117)、调节轴(113)、调节齿轮(112)、从动齿轮(114)、转台轴(115)、转台(111)、支撑螺柱(106)、转台连接螺柱(107)、牵引脚(108)；其中，调节轴(113)与滚珠轴承(601)配合并由卡垫(117)固定，滚珠轴承(601)嵌于底部支撑台(116)轴承通孔(503)内，调节轴(113)顶部设有调节齿轮(112)，调节齿轮(112)与从动齿轮(114)咬合，从动齿轮(114)装卡在转台轴(115)上；牵引脚(108)通过转台连接螺柱(107)与转台(111)连接，并通过支撑螺柱(106)与顶部支撑台(104)连接，支撑螺柱(106)嵌在凹槽(105)内，支撑螺柱(106)上设有支撑柱(102)，支撑柱(102)顶端设有支撑球(101)，支撑球(101)与支撑柱(102)固结。