[发明专利]高频匹配系统

摘要

本发明提供一种阻抗调整装置。本发明的阻抗调整装置即使在使用可变频率方式的高频电源的情况下也能够进行使用特性参数的阻抗匹配。本发明的阻抗调整装置适用于使用可变频率方式的高频电源的高频电力供给系统。以可变电容器的位置信息(C)与高频电源的输出频率信息(F)的组合的一部分为对象的特性参数存储在存储器中。T参数获取部获取与现在时刻的(Cnow，Fnow)对应的特性参数。输出反射系数运算部运算输出端的反射系数。目标信息指定部基于上述信息和目标输入反射系数，指定使输出端的反射系数接近目标输入反射系数的目标组合信息。根据该信息进行阻抗匹配。

主权项

一种高频匹配系统，其特征在于，包括：向负载供给高频电力的高频电力供给单元；阻抗调整单元，用来调整从所述高频电力供给单元观察所述负载侧时的对象阻抗；可变电特性元件；特性参数存储单元，其为存储表示所述阻抗调整单元的传输特性的多个特性参数的特性参数存储单元，所述多个特性参数分别是对于将与所述高频电力供给单元的输出频率对应的多个频率调整点和与所述可变电特性元件的电特性对应的多个电特性调整点组合而得到的多个调整点获取的；高频信息检测单元，其检测所述高频电力供给单元的输出端或所述阻抗调整单元的输入端的高频信息；电特性获取单元，其获取所述可变电特性元件的电特性；特性参数获取单元，其基于所述多个特性参数获取对于将所述高频电力供给单元的输出频率与所述获取的电特性组合而得到的调整点的特性参数；输出反射系数运算单元，其基于由所述高频信息检测单元检测出的高频信息和由所述特性参数获取单元获取的特性参数，运算所述阻抗调整单元的输出端的输出反射系数；指定单元，其基于所述输出反射系数、预先设定的目标输入反射系数和所述多个特性参数，从所述多个调整点中对使所述对象阻抗与所述高频电力供给单元的阻抗匹配的阻抗调整点进行指定；电特性元件调整单元，其将所述可变电特性元件的电特性调整为所述阻抗调整点的电特性；和指令信号输出单元，其将用于使所述高频电力供给单元的输出频率调整至所述阻抗调整点的输出频率的指令信号输出至所述高频电力供给单元，所述高频电力供给单元的输出频率为基于由所述高频信息检测单元检测出的所述高频信息而获取的输出频率或所述高频电力供给单元所识别的输出频率。