[发明专利]远心亮场与环形暗场无缝融合式照射有效
申请号: | 201510423283.5 | 申请日: | 2015-07-17 |
公开(公告)号: | CN105424600B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | T·郝维思;E·梅茂 | 申请(专利权)人: | 奥宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/88 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | 本发明描述一种用于区域检验设备的照射系统。所述照射提供无缝地融合在一起的远心亮场与环形暗场光。在一个或多个实施例中,所述照射系统并入有组合不同透镜的统一光学透镜总成,所述透镜将定位在不同平面处的照射以无缝方式成像到单个平面。在一个或多个实施例中,所述照射系统的不同部件具有共同孔径光阑,因此在光学路径中不存在渐晕效应,从而使得由检验系统获取的光学图像具有高质量。 | ||
搜索关键词: | 远心亮场 环形 暗场 无缝 融合 照射 | ||
【主权项】:
1.一种统一非圆形对称光学总成,其特征在于,包括:a. 中央光学聚光器段;以及b. 多个外围光学聚光器段,环绕所述中央光学聚光器段,其中所述多个外围光学聚光器段是实质上邻接的,从而围绕所述中央光学聚光器段一起形成实质上无缝的环。
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